2019/06/20
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使用激光干涉仪，提高数控机床定位精度！
激光干涉仪laser interferometer，以光波为载体，据此为已知长度，利用迈克尔逊干涉系统测量位移的通用长度测量。
激光干涉仪可以测量出一些误差值，导入数控系统，改善机床加工精度。
发展历史：
1960年世界上第一台红宝石激光器被研制出来，从此开始了光学技术飞速发展的新时代。激光干涉测量被广泛用于长度、角度等领域，和微电子技术、计算机技术集成，成为现代干涉仪。
1986年干涉仪开始向纳米、亚纳米分辨率和精度前进。
激光干涉仪是激光在计量领域中最成功的的应用之一。主要分为单频和双频两种。配合折射镜、反射镜等来作线性位置等的测量工作，可测量的量包括：位置、速度、角度等，并且可以精密测量。利用光的干涉实现测量，能够应用于众多的领域。
工作原理
激光器向线性干涉镜发射单一频率光束，然后分成两道光束，一道光束为参考光束射向连接分光镜的反射镜，而第二道透射光束为测量光束通过分光镜射入第二个反射镜，这两道光束再反射回到分光镜，重新汇聚之后返回激光器，其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉。若光程差没有变化时，探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。
若光程差有变化时，探测器会在每一次光程变化时，在相长性和相消性干涉的两极之间找到变化信号，这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。
可做以下用途：
一：直线度测量
1.沿水平轴直线度测量，激光器发射出的光束穿过中间的直线度干涉镜，分为两束同频的光源，通过直线度反射镜反射汇聚到干涉镜，再返回激光器。此种测量方法，可以检测出干涉的光波在直线度干涉镜移动的方向上产生多少偏差，可以用来调试设备。
2.沿垂直轴直线度测量，将激光干涉仪水平光束转换成垂直光束。
二、线性测量
可以定位精度、重复定位精度、反向间隙等多项检测机床轴的精度指标。
需要用到一个各线性分光镜和两个线性反射镜。
激光干涉仪是精度最高的线性位移测量仪器，其光波可以直接对米进行定义，可溯源至国家标准。
我们一般出厂前的新机床大多使用激光干涉仪进行定位精度和重复定位精度以及反向间隙的检测，机床使用一段时间后，由于丝杠的磨损和其它原因，精度会逐渐丧失，也需要使用激光干涉仪进行精度的再校准。
目前激光干涉仪市场上雷尼绍占比80%，光动占比20%，国产目前还没有哪家能与其相匹敌。
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